特点：
●通过激光扫描，把画像拍摄下来，可得到详细3Ｄ图像
●采用了可以变化1677万种颜色的多彩色的LED，能准确测定各种基板
●采用Ｇｅｒｂｅｒ Ｆｉｌｅ变换程序，可以很快地做成检查数据
●根据客户的需求自动选择2D/3D
●可根据每天测定数据进行SPC分析（选项）
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